Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films from Titanium Isopropoxide and Water

• 이재필 (국민대학교 화학과) ;
• 장영진 (국민대학교 화학과) ;
• 곽현태 (국민대학교 화학과) ;
• 박찬량 (국민대학교 화학과) ;
• 이경은 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
• 김영만 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
• 성명모 (국민대학교 화학과)

• Lee, Jae-Pil ;
• Jang, Yeong-Jin ;
• Gwak, Hyeon-Tae ;
• Park, Chan-Ryang ;
• Lee, Gyeong-Eun ;
• Kim, Yeong-Man ;
• Seong, Myeong-Mo

• 발행 : 2002.02.19

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