한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Si (111) 기판 위에 다양한 AlN 완충층을 이용한 GaN 성장과 특성 비교

  • 신희연 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 이정욱 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 정성훈 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 유지범 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과) ;
  • 양철웅 (성균관대학교 공과대학 신소재공학과)
  • 발행 : 2002.02.19
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드