Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

실리콘웨이퍼의 박막에 따른 PR Line Pattern의 최적조건에 관한 연구

  • 임형준 (명지대학교 기계공학부) ;
  • 양진승 (명지대학교 기계공학부) ;
  • 김종우 (성균관대학교 진공과학공학과) ;
  • 전종균 (선문대학교 기계및제어공학부)
  • Published : 2002.02.19
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