DLC 박막의 기계적 특성 평가

• 한준희 (한국표준과학연구원) ;
• 이광렬 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
• 김광석 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
• 이상율 (한국항공대학교 항공재료공학과) ;
• 김진홍 (LG 전자기술원, 소자재료연구소) ;
• 홍기명 (LG 전자기술원, 소자재료연구소)

• Han, Jun-Hui ;
• Lee, Gwang-Ryeol ;
• Kim, Gwang-Seok ;
• Lee, Sang-Yul ;
• Kim, Jin-Hong ;
• Hong, Gi-Myeong

• 발행 : 2002.02.19

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