한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
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- Pages.97-97
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- 2002
ICP CVD에 의해 증착된 비정질 및 마이크로크리스탈라인 실리콘 박막의 이종접합 연구
- 김경해 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 고재경 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 박중현 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
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- 문상일 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 이준신 (성균관대학교 전기전자컴퓨터공학부)
- Kim, Gyeong-Hae ;
- Go, Jae-Gyeong ;
- Park, Jung-Hyeon ;
- Gangopadhyay, U. ;
- Chakrabarty, K. ;
- Mun, Sang-Il ;
- Lee, Jun-Sin
- Published : 2002.02.19