한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집
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- Pages.93-93
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- 2002
Epitaxial $CoSi_2$ using sacrificial Si on Si0.83Ge0.17/Si(001) Schottky contact의 계면적 및 전기적특성에 관한 연구
- 발행 : 2002.02.19