저진공펌프의 복합 성능평가

  • 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정순희 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 이완형 (충남대학교) ;
  • 정완섭 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 심우건 (한남대학교) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • 발행 : 2002.02.19