한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2002년도 제23회 학술발표회 초록집
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- Pages.220-221
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- 2002
Si$O_2$ 박막제조용 $TEOS/O_2$ 플라즈마 반응기에서의 미립자 오염
- 발행 : 2002.06.27