마이크로 소자용 Pb(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 Helicon Plasma Source를 이용한 식각 공정 및 특성

• Jeon, Seong-Jin ;
• Park, Jun-Sik ;
• Park, Gwang-Beom ;
• Jang, Yeon-Tae ;
• Sin, Gyu-Sik ;
• Park, Hyo-Deok ;
• Lee, Seung-Hun ;
• Son, Jae-Hyeon ;
• Yu, Byeong-Gon (ETRI) ;
• Gang, Seong-Gun

• 전성진 (KETI 마이크로머신센터) ;
• 박준식 (KETI 마이크로머신센터) ;
• 박광범 (KETI 마이크로머신센터) ;
• 장연태 (KETI 마이크로머신센터) ;
• 신규식 (KETI 마이크로머신센터) ;
• 박효덕 (KETI 마이크로머신센터) ;
• 이승훈 ((주) NEXSO) ;
• 손재현 ((주) NEXSO) ;
• 유병곤 ;
• 강성군 (한양대학교 재료공학과)

• Published : 2002.06.27

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