Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2002.06a
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Pages.203-203
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2002

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

($CF_4/Ar$ 플라즈마를 이용한 $Bi_4-xLaxTi_3Ol_2$ 박막의 식각 특성

김동표 (중앙대 전자전기공학부) ;
김경태 (중앙대 전자전기공학부) ;
김창일 (중앙대 전자전기공학부)

Published : 2002.06.27

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Abstract

Keywords