Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Heating Mode Transition in the Capacitive Mode of Inductively Coupled Plasma and the Electron Temperature Change During the E-H transition

  • 정진욱 (플라즈마트 기술 연구소) ;
  • 김성식 (기초과학지원 연구소) ;
  • 윤남식 (충북대학교 전기및 전자 공학과) ;
  • 장홍영 (한국과학기술원 물리학과)
  • Published : 2002.06.27
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Abstract

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