한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

6H-SiC 단결정 성장중에 기판 표면 상태가 결함 형성에 미치는 효과

  • 엄명윤 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 정재경 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 나훈주 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 송인복 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 2002.06.27
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