Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

클러스터이온빔을 이용한 고체 표면 평탄화, 스퍼터링,에칭 현상에 대한 연구

  • 송재훈 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 최원국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 2002.06.27
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