Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.06a
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- Pages.150-150
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- 2002
Liquid Delivery MOCVD 방법으로 제조된 RuOx 박막의 미세구조와 전기적 특성
- Kim, Gyeong-Won ;
- An, Eun-Jeong ;
- Jeong, Chil-Seong ;
- Kim, Jong-Hwa ;
- Choe, Il-Sang ;
- Kim, Ho-Jeong ;
- Lee, Sun-Yeong ;
- Kim, Yun-Su ;
- Kim, Nam-Su
- 김경원 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 안은정 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 정칠성 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 김종화 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 최일상 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 김호정 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 김윤수 (하이닉스 반도체(주) 선행공정3팀) ;
- 김남수 (충북대학교 반도체공학과)
- Published : 2002.06.27
Abstract
Keywords