Liquid Delivery MOCVD 방법으로 제조된 RuOx 박막의 미세구조와 전기적 특성

• Kim, Gyeong-Won ;
• An, Eun-Jeong ;
• Jeong, Chil-Seong ;
• Kim, Jong-Hwa ;
• Choe, Il-Sang ;
• Kim, Ho-Jeong ;
• Lee, Sun-Yeong ;
• Kim, Yun-Su ;
• Kim, Nam-Su

• 김경원 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 안은정 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 정칠성 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 김종화 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 최일상 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 김호정 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 이순영 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
• 김윤수 (하이닉스 반도체(주) 선행공정3팀) ;
• 김남수 (충북대학교 반도체공학과)

• Published : 2002.06.27

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