Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 Pb(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 특성

  • 송한욱 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김윤석 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 노광수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 김창조 (아텍시스템 부설연구소) ;
  • 조영상 (아텍시스템 부설연구소)
  • Published : 2002.06.27
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Abstract

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