저진공펌프의 저유량 영역에서의 배기속도 측정 시스템 구축

• 이완형 (충남대학교) ;
• 정순희 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 임종연 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
• 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)

• Lee, Wan-Hyeong ;
• Jeong, Sun-Hui ;
• Im, Jong-Yeon ;
• Sin, Yong-Hyeon ;
• Jeong, Gwang-Hwa

• 발행 : 2002.06.27

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