Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

열 CVD에서 $NH_3$ 전처리 조건의 변화가 탄소나노튜브의 직경${\cdot}$성장길이${\cdot}$ 밀도 및 구조에 미치는 영향

  • 이태재 (한양대학교 나노공학과) ;
  • 류승철 (한양대학교 나노공학과) ;
  • 최상규 (한양대학교 나노공학과) ;
  • 이철진 (한양대학교 나노공학과) ;
  • 이진호 (한국전자통신연구원 회로소자기술연구소 FED 소자팀)
  • Published : 2002.06.27
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords