Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.06a
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- Pages.97-98
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- 2002
Accurate SIMS Depth Profiling of Ultra Shallow Phosphorus & Arsenic by Oxygen Flooding
- Lee, Jong-Pil ;
- Hong, Tae-Eun ;
- Go, Jung-Gyu ;
- Jeong, Chil-Seong ;
- Yun, Sang-Bae ;
- Kim, Yu-Gwon ;
- Park, Yun-Baek ;
- Kim, Ho-Jeong ;
- Lee, Sun-Yeong
- 이종필 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 홍태은 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 고중규 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 정칠성 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 윤상배 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 김유권 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 박윤백 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 김호정 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀)
- Published : 2002.06.27
Abstract
Keywords