Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2002.06a
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Pages.84-84
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2002

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

A study on roughness of ITO films coated with a magnetron sputtering by AFM

김은도 (포항산업과학연구원) ;
홍재화 (포항산업과학연구원) ;
손영호 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
황도원 ((주)알파플러스 기술연구소) ;
조성진 (경성대학교) ;
김희 (경성대학교)

Published : 2002.06.27

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