Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.06a
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- Pages.77-77
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- 2002
LS-MOCVD 법에 의한 BaTiO3 박막의 성장
- Gwon, Hyeon-Gu ;
- O, Yeong-U ;
- Park, Jeong-U ;
- Lee, Yeong-Guk ;
- Kim, Chang-Gyun ;
- Kim, Do-Jin ;
- Kim, Yun-Su (한국화학연구원 화학소재연구부)
- 권현구 (한국화학연구원 화학소재연구부, 충남대학교 재료공학과) ;
- 오영우 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
- 박정우 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
- 이영국 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
- 김창균 (한국화학연구원 화학소재연구부) ;
- 김도진 (충남대학교 재료공학과) ;
- 김윤수
- Published : 2002.06.27
Abstract
Keywords