유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구

  • 박진성 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 강상원 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 2002.06.27