Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2002.06a
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- Pages.51-51
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- 2002
Deposition and Characterization of Er-doped Si Thin Films Fabricated by Laser Ablation
- Nam, Sang-Hwan ;
- Bae, Chang-Hyeon ;
- Jang, Yeong-Rae ;
- Yu, Geon-Ho ;
- Ha, Jeong-Suk ;
- Park, Gyeong-Wan ;
- Park, Seung-Min
- 남상환 (경희대학교 화학과) ;
- 배창현 (경희대학교 화학과) ;
- 장영래 (경희대학교 물리학과) ;
- 유건호 (경희대학교 물리학과) ;
- 하정숙 (고려대학교 화공생명공학과) ;
- 박경완 (한국전자통신연구원 원천기술연구소) ;
- 박승민 (경희대학교 화학과)
- Published : 2002.06.27
Abstract
Keywords