한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
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- Pages.548-550
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- 2002
다층막 스퍼터링 증착장치의 설계
Design of equipment for multi-layer sputtering deposition
- Kim, Soo-Yong (Dept. of electronic Eng. Kyonggi University) ;
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Jung, Won-Chae
(Dept. of electronic Eng. Kyonggi University)
- 발행 : 2002.11.07
초록
본 장치는 다층막 스퍼터링 증착장치로써 박막을 증착시키는데 용이하게 설계하는 것이 목적이며, 박막두께가 균일하게 증착되고 진공조 내부의 압력을 일정하게 제어가 가능하고 배기시스템은 스퍼터실과 증착실의 진공배기를 공용으로 구조를 설계하여 장치의 스퍼터링 증착조건에 적합하도록 연구실험용으로 설계되어졌다.