한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)

한국전기전자재료학회 (The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers)
권호 표지

연성 전극을 이용한 대칭형 박막 다이오드 제작

Fabrication of symmetrical thin film diodes using flexible electrodes

  • 이찬재 (전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
  • 홍성제 (전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
  • 문대규 (전자부품연구원 디스플레이연구센터) ;
  • 한정인 (전자부품연구원 디스플레이연구센터)
  • 발행 : 2002.04.27
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

연성 AI 전극을 이용하여 플라스틱 기판 위에 대칭성 박막 다이오드를 제작하였다. 다이오드의 구조는 $Al/Ta_{2}O_{5}/Al$의 3층 구조로 되어 있다 상부 AI 전극 제작시 하부 AI 전극의 손상을 방지하기 위해 무(無)식각 공정을 개발, 적용하였다. AI 전극을 사용한 결과 단단한 Ta 전각에서 나타난 변형 빛 균열 문제가 해결되었다. 또한 상부 빛 하부의 대칭성 전극 구조로 제작함으로써 I-V 곡선이 완벽한 대칭형의 우수한 전기적 특성을 얻을 수 있었다.

키워드