한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2002년도 제4회 영호남학술대회 논문집
- /
- Pages.133-137
- /
- 2002
고밀도스트리머를 이용한 $CF_{4}$ 분해특성
The characteristic of $CF_{4}$ decomposition for High density streamer
- Song, W.S. ;
- Park, J.Y. ;
- Jung, J.G. ;
- Kim, J.S. ;
- Kim, T.Y.
- 발행 : 2002.08.24
초록
In this paper, the
키워드