Analytical Transmission Electron Microscopy(ATEM) Application for Failure Analysis of Random Bit-Fail on ULSI DRAM Device
- Kim, Jong-Hyeop ;
- Choe, Jin-Tae ;
- Choe, Geun-Yeong ;
- Gwon, Tae-Seok ;
- Park, Ju-Cheol ;
- Lee, Sun-Yeong
- 김종협 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 최진태 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 최근영 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 권태석 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 공정BC팀) ;
- 박주철 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 ((주) HYNIX 반도체 메모리연구소 분석개발팀)
- Published : 2002.05.01
Abstract
Keywords