대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2002년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.242-244
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- 2002
후막 감광제를 이용한 구리 모재의 초소형 히트 파이프 제작
Fabrication of Copper Micro Heat Pipes Using JSR Negative Photoresist
- Jang, Byeong-Hyeon (School of Electronics Eng., Ajou University) ;
- Yoon, Hyeun-Joong (School of Electronics Eng., Ajou University) ;
- Yang, Sang-Sik (School of Electronics Eng., Ajou University)
- 발행 : 2002.11.09
초록
고집적 반도체 소자에서 발생하는 열의 효과적인 전달을 위한 구리 모재의 초소형 히트파이프를 제작하였다. 제작된 초소형 히트 파이프는 높이 100
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