Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.242-244
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- 2002
Fabrication of Copper Micro Heat Pipes Using JSR Negative Photoresist
후막 감광제를 이용한 구리 모재의 초소형 히트 파이프 제작
- Jang, Byeong-Hyeon (School of Electronics Eng., Ajou University) ;
- Yoon, Hyeun-Joong (School of Electronics Eng., Ajou University) ;
- Yang, Sang-Sik (School of Electronics Eng., Ajou University)
- Published : 2002.11.09
Abstract
고집적 반도체 소자에서 발생하는 열의 효과적인 전달을 위한 구리 모재의 초소형 히트파이프를 제작하였다. 제작된 초소형 히트 파이프는 높이 100
Keywords