Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.79-81
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- 2002
$Al_2O_3$ films coated on ZnO nanowires by ALD method
ALD방법으로 ZnO 나노와이어에 코팅된 $Al_2O_3$ 박막
- Hwang, Joo-Won (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Keem, Ki-Hyun (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Kang, Myung-Il (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Lee, Jong-Su (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Min, Byung-Don (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
- Kim, Sang-Sig (Department of Electrical Engineering, Korea University)
- 황주원 (고려대학교 전기공학과) ;
- 김기현 (고려대학교 전기공학과) ;
- 강명일 (고려대학교 전기공학과) ;
- 이종수 (고려대학교 전기공학과) ;
- 민병돈 (고려대학교 전기공학과) ;
- 김상식 (고려대학교 전기공학과)
- Published : 2002.11.09
Abstract
ZnO 나노와이어는 ZnO 파우더를 볼밀 처리하여 열증착 방법으로
Keywords