한국자기학회:학술대회 개요집 (Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference)

한국자기학회 (The Korean Magnetics Society)
권호 표지

TMR 시료의 fabrication 전 후의 열처리 효과

  • Jun, K-I (Korea Institute of Science and Technology) ;
  • Lee, J. H. (Korea Institute of Science and Technolog) ;
  • Shin, Kyung-Ho (Korea Institute of Science and Technolog) ;
  • Park, S. Y. (Korea University) ;
  • K. Rhie (Korea University) ;
  • J. R. Rhee (Sookmyung Women's University) ;
  • I. W. Jang (Hynix Semiconductor Inc) ;
  • Lee, K. N. (Hynix Semiconductor Inc) ;
  • Kim, C. S. (Hynix Semiconductor Inc.)
  • 발행 : 2002.12.01
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초록

스핀 밸브에서는 NiFe, CoFe, Cu등 주요 금속들이 면심입방체(111)로 배향이 용이하지만, 자기 터널 접합 소자에서는 $Al_2$O$_3$ 장벽층이 비정질로서 상부 강자성 전극이 충분히 (111) 배향을 할 수 없기 때문에 top bias 방식의 사용이 거의 불가능하며, bottom bias의 경우에도 교환 바이어스의 크기는 상대적으로 작다[1]. 이를 극복하기 위해 인공 초격자를 이용한 인공 반강자성층(synthetic antiferromagnet - SAF)을 이용하여 높은 교환 바이어스 효과를 구현하고자 하였다. (중략)

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