Bottom형 스핀밸브 GMR 소자의 씨앗층과 반강자성체 두께에 따른 의존성

  • 전동민 (신소재 공학과, 성균관대학교) ;
  • 김병구 (신소재 공학과, 성균관대학) ;
  • 이정표 (신소재 공학과, 성균관대학) ;
  • 정근희 (신소재 공학과, 성균관대학) ;
  • 서수정 (신소재 공학과, 성균관대학교)
  • 발행 : 2002.12.01

초록

Y-Mn 계열 반강자성체를 갖는 스핀 밸브의 경우에 씨앗층의 영향을 크게 받게 된다. 특히, (111) texture의 발달이 없는 경우에는 큰 교환결합자계를 얻을 수 없고 또한 공정후 열처리의 조건에 매우 크게 영향을 받음을 알 수 있다. Bottom형 교환 결합형 스핀밸브의 경우에 (111) texture의 향상을 위해 Cu 또는 NiFe와 같은 fcc 재료를 씨앗층으로 사용한다. (중략)

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