Laser-induced thermochemical wet etching of titanium foil for fabrication of microstructures

레이저 유도에칭에 의한 티타늄 박막 미세구조물 제조

  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 손승우 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 신용산 (삼성전기주식회사 정보디바이스사업부)
  • Published : 2002.11.01