Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.11a
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- Pages.189-189
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- 2002
The research of optical properties and SE analysis of a-Si as a passivation layer of phase shift mask material(SiONF) for 157 nm lithograghy
157 nm 광리고그래피용 위상 변위막(SiONF)의 passivation 막으로서의 a-Si 박막의 광학적 특성 분석 및 SE 분석
Abstract
Keywords