Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Growth and optical properties of heteroepitaxial ZnO thin films by off-axis rf magnetron sputtering

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

  • 박재완 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터, 한양대학교 재료공학과) ;
  • 박유미 (인제대학교 광공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 전민현 (인제대학교 광공학과) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 2002.11.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords