한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Off-axis rf 마그네트론 스퍼터링에 의한 이종에피텍셜 ZnO 박막의 성장 및 광학적 특성

Growth and optical properties of heteroepitaxial ZnO thin films by off-axis rf magnetron sputtering

  • 박재완 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터, 한양대학교 재료공학과) ;
  • 박유미 (인제대학교 광공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 전민현 (인제대학교 광공학과) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • 발행 : 2002.11.01
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