한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

스퍼터링한 Ti의 질화에 의한 TiN 형성

TiN Formation by Nitridation of sputtered Ti

  • 박수진 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이근우 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 권영호 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 2002.11.01
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