Fabrication and Characteristics of 5.2GHz Film Bulk Acoustic Wave Resonator

5.2GHz대역의 박막형 체적탄성파 공진기의 제조 및 특성

  • 한상철 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 한정환 (인하대학교 재료공학부) ;
  • 이시형 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) ;
  • 이전국 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)
  • Published : 2002.11.01