Dependence of Ferroelectric Performance of Sol-Gel Derived $Pb(Zr,Ti)O_3$ Thin Films upon Pt Bottom Electrode Thickness

Sol-Gel 법으로 증착된 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막의 강유전 특성에 미치는 Pt 하부전극 두께 영향

  • Published : 2002.11.01