Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Laser-induced Shock Wave Cleaning of Particles on Silicon Wafer

Laser 충격파를 이용한 실리콘웨이퍼 표면에서의 미세 오염입자 제거

  • 강영재 (한양대학교, 금속재료공학과) ;
  • 이상호 (한양대학교, 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교, 금속재료공학과) ;
  • 이종명 ((주)아이엠티, 레이저응용그룹)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

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