Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Etching Characterics of Ru Thin Film for Capacitor Electrode

Capacitor 전극용 Ru박막의 식각 특성

  • 이순우 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 김상훈 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 함동은 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 안진호 (한양대학교 신소재공학부)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

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