Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.59-59
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

The Electrical Characterization of Deposited Hafnium Oxide Thin Film using MOCVD

MOCVD를 이용하여 증착시킨 Hafnium Oxide 박막의 전기적 특성연구

오재민 (한양대학교 신소재공학부) ;
김영순 (한양대학교 신소재공학부) ;
이태호 (한양대학교 신소재공학부) ;
현광수 ;
안진호 (한양대학교 신소재공학부)

Published : 2002.11.01

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