한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Cu-FALC법을 이용한 35$0^{\circ}C$에서 열처리 시간에 따른 비정질 실리콘 박막의 결정화 특성

Characterization of Crystallization of Amorphous Silicon Thin Film with Annealing Time using Cu-Field Aided Lateral Crystallization (FALC) Technique

  • 발행 : 2002.11.01
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