Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.22-22
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Properties of Boron Carbide Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering

마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 특성

이광은 (충남대학교 재료공학과) ;
김종오 (충남대학교 재료공학과) ;
김종희 (고기능성자성재료연구센터) ;
이정영 ((주)샘텍 기술연구소) ;
박명진 ((주)샘텍 기술연구소) ;
이천배 ((주)샘텍 기술연구소)

Published : 2002.11.01

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Abstract

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