Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

2002.05a
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Pages.29-30
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2002

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

A Study of copper electroless plating for the VLSI formation on the Silicon wafer

Silicon wafer상에 초고집적회로 형성을 위한 무전해 구리 도금 연구

최경수 (영남대학교 공과대학교 금속 및 재료공학부) ;
민봉기 (영남대학교 공과대학교 금속 및 재료공학부) ;
최순돈 (영남대학교 공과대학교 금속 및 재료공학부) ;
신현준 (영남이공대학 뉴-테크디자인계열)

Published : 2002.05.01

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Abstract

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