한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2002년도 춘계학술발표회 초록집
- /
- Pages.6-6
- /
- 2002
유도 결합 플라즈마 스퍼터링 증착법에 의한 광촉매용 $TiO_2$ 증착
Photocatalytic $TiO_2$ thin film deposited by Inductively Coupled Plasma assisted sputtering
- 발행 : 2002.05.01