Proceedings of the KAIS Fall Conference (한국산학기술학회:학술대회논문집)

The Korea Academia-Industrial cooperation Society (한국산학기술학회)
권호 표지

Reliability Test System for Semiconductor Equipment & Part

장비/부품의 신뢰성 평가 시스템 구축 방안

  • 황희융 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터) ;
  • 설용태 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터) ;
  • 이희환 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터) ;
  • 차옥환 (호서대학교 반도체 제조장비 국산화 연구센터)
  • Published : 2002.05.01

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Abstract

반도체 제조장비는 매우 높은 정밀도와 신뢰성이 요구되는 초정밀 시스템으로서 개발이 완료되어 실제 생산라인에 투입되기까지는 오랜 시간 동안 엄격한 시험평가를 통하여 신뢰성이 입증되어야 한다. 그러나 국내 중소 업계의 경우 고가 시험평가 설비를 보유하고 있지 않아 연구개발에 많은 어려움을 겪고 있다. 본 과제는 반도체 제조장비와 부품의 신뢰성 평가를 위한 시스템 구축방안에 대한 사항이다.

Keywords