Proceedings of the IEEK Conference (대한전자공학회:학술대회논문집)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

Characteristics analysis and fabrication of SAW filter for micro-wave using Undoped-GaN thin film

Undoped-GaN 압전 박막을 이용한 RF용 SAW 필터의 제조 및 특성분석

  • 장철영 (경북대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 박민정 (경북대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 정은자 (경북대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 고성용 (경북대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 최현철 (경북대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 이정희 (경북대학교 대학원 전자공학과) ;
  • 이용현 (경북대학교 대학원 전자공학과)
  • Published : 2002.06.01
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Abstract

Undoped-GaN thin film is deposited on Sapphire substrate by MOCVD. SAW velocity is measured with tile center frequency by HP8753C. Center frequency is 266.52 MHz and SAW velocity is 5330㎧ when wavelength was 20 Um. insertion loss, Q factor and side love attenuation is 41.265 dB, 257.41 and over 23 dB. k'i is calculated from tile measured data. k2'is from 1 % to 4 %. TCF is -61.817pp/m/$^{\circ}C$.

Keywords