Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
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- Pages.135-135
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- 2002
Study on the electrical and structural properties of epitaxial ferroelectric thin films on Si by PLD method
PLD법을 사용하여 Si 기판에 에피성장시킨 강유전체 박막의 구조 및 전기적 특성 연구
Abstract
Keywords