Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2002.05a
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- Pages.131-131
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- 2002
Characteristics of CrTiN/TiN double barrier with high thermal stability for the COB ferroelectric memory applications
COB 구조의 강유전체 기억소자 적용을 위한 고온 내산화성 CrTiN/TiN 이중 방지막 구조의 특성 연구
Abstract
Keywords