Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.05a
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Pages.48-48
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

A Study on the Characteristic of TiN Thin Films Deposited by Metal Organic Atomic Layer Deposition

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 (한양대학교) ;
김주연 (한양대학교) ;
서상원 (한양대학교) ;
김도열 (한양대학교) ;
김양도 (한양대학교) ;
김영도 (한양대학교) ;
전형탁 (한양대학교)

Published : 2002.05.01

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Abstract

Keywords